電動(dòng)平移臺(tái)平面度的含義

發(fā)布日期：2019-05-05 作者：點(diǎn)擊：

電動(dòng)平移臺(tái)平面度（Surface Flatness）：

光學(xué)平臺(tái)的平面度，通常是指單位面積內(nèi)，被測(cè)實(shí)際表面相對(duì)其理想平面的變動(dòng)量。通常國(guó)外光學(xué)平臺(tái)的平面度指標(biāo)為：±0.1mm/600mm×600mm，通過(guò)精密磨削工藝，將平面度指標(biāo)提高到0.02 ～0.05mm/600mm×600mm。

但嚴(yán)格意義上來(lái)說(shuō)，光學(xué)平臺(tái)平面度，對(duì)于隔振性能，沒(méi)有任何影響，甚至若為了追求高平面度，往往會(huì)犧牲掉光學(xué)平臺(tái)的隔振性能，原因如下：

● 我們知道，光學(xué)平臺(tái)臺(tái)面，若為達(dá)到高平面度，通常需要反復(fù)磨削，在加工過(guò)程中，多次磨削容易使材料產(chǎn)生形變，為了減少形變，通常要加厚臺(tái)面，但我們通過(guò)振動(dòng)恢復(fù)時(shí)間的說(shuō)明已經(jīng)知道，臺(tái)面加厚質(zhì)量增加，平臺(tái)的振動(dòng)恢復(fù)時(shí)間往往成倍（甚至幾倍）增加，在很多精密光學(xué)實(shí)驗(yàn)中，這是不可接受的；

● 光學(xué)平臺(tái)的磨削是有極限的，這個(gè)加工的極限一般是在±0.01mm/600mm×600mm左右，換算成平方米大約為：±0.03mm/m2，但這個(gè)平面度，同大理石平臺(tái)的平面度相差甚遠(yuǎn)。大理石平臺(tái)根據(jù)平面度指標(biāo)一般分為：000級(jí)（平面度≤3μm/m2）、00級(jí)（平面度≤5μm/m2）、0級(jí)（平面度≤10μm/m2）。換句話說(shuō)，平面度最好的光學(xué)平臺(tái)，同最低等級(jí)的大理石平臺(tái)相比，平面度還差數(shù)倍甚至一個(gè)數(shù)量級(jí)，所以若您需要高平面度的臺(tái)面，強(qiáng)烈建議您選購(gòu)大理石平臺(tái)；

● 光學(xué)平臺(tái)的平面度在使用時(shí)，實(shí)際意義不大。我們以絕對(duì)平整的臺(tái)面（實(shí)際上是不可能的）來(lái)看，若長(zhǎng)×寬×厚為：2000×1000×200mm，通常調(diào)整水平時(shí)，水平儀的最小刻度為±30′，若假設(shè)實(shí)際過(guò)程中，水平方向調(diào)整精度若為5′，長(zhǎng)度方向取2000mm，那么，臺(tái)面長(zhǎng)度方向兩端的高度差=2000×tan（5′）2.9mm，也就是說(shuō)，就算絕對(duì)平整的臺(tái)面，調(diào)整水平后，臺(tái)面長(zhǎng)度方向兩端的高度差很有可能達(dá)到3mm，所以實(shí)際使用情況中，平面度的指標(biāo)意義不大；

● 對(duì)于平臺(tái)上的光學(xué)元件來(lái)說(shuō)，平面度引起的高度差，通常可以忽略不計(jì)，若確有必要考慮高度差，則完全可以通過(guò)卓立精密調(diào)整的位移臺(tái)來(lái)實(shí)現(xiàn)。綜上所述，光學(xué)平臺(tái)的平面度，同光學(xué)平臺(tái)的隔振性能不相關(guān)，只能做為光學(xué)平臺(tái)的一個(gè)輔助指標(biāo)，供參考。

升降旋轉(zhuǎn)臺(tái)