壓電三軸納米探針臺(tái)

所屬分類：壓電多軸納米位移臺(tái)
點(diǎn)擊次數(shù)：
發(fā)布日期：2021/01/21
在線詢價(jià)

詳細(xì)介紹

壓電三軸納米探針臺(tái)實(shí)現(xiàn)了三維空間上的準(zhǔn)確定位，它具有分辨率高，尺寸緊湊，行程大，操作簡(jiǎn)單，能在真空下使用等優(yōu)點(diǎn)，可應(yīng)用于在SEM真空腔體內(nèi)完成各種納米精度運(yùn)動(dòng)操作。

壓電三軸納米探針臺(tái)使用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，運(yùn)動(dòng)無需潤(rùn)滑，真空兼容，并可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。運(yùn)動(dòng)分辨率達(dá)到納米級(jí)。步進(jìn)和掃描雙模式工作，在宏觀行程范圍內(nèi)達(dá)到亞納米分辨率的定位。

三軸納米探針臺(tái)由三個(gè)單軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)組合而成。一個(gè)SEM腔體內(nèi)可安裝多個(gè)三軸探針臺(tái)。平臺(tái)上可安裝電學(xué)探針、光纖探針、納米鑷子、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類操縱和測(cè)量頭，實(shí)現(xiàn)微納操縱和測(cè)量的目的。

壓電三軸納米探針臺(tái)應(yīng)用案例：壓電三軸納米探針臺(tái)1.png