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壓電直線納米位移臺ML-92A 大行程直線位移臺，不僅擁有緊湊的安裝尺寸，同時還兼具低溫真空等應用環境。
是小空間內大行程高精度的定位的優先選擇產品。
| 壓電直線納米位移臺ML-92A尺寸參數 | ||
| 外形尺寸（長*寬*高） | 123*28*15.5 | mm |
| 臺面平面度 | 10 | μm |
| 總重量 | 190 | g |
| 運動參數 | ||
| 行程 | ±46 | mm |
| 運動速度上限 | 3 | mm/s |
| 材料 | ||
| 機身 | 鋁合金 | / |
| 驅動 | PZT壓電陶瓷 | / |
| 驅動機構 | 鈹青銅 | / |
| 導線 | 屏蔽線，銅線 | / |
| 運動控制 | ||
| 閉環重復定位精度（20℃） | 20 | nm |
| 閉環位置傳感器分辨率 | 2 | nm |
| 開環運動分辨率 | 0.05 | nm |
| 負載 | ||
| 垂直運動方向負載 | 20 | N |
| 沿運動方向負載 | 4 | N |
| 操作環境 | ||
| 操作溫度 | 0~60 | ℃ |
| 操作濕度 | 溫度達到40℃時，相對濕度95%。（非冷凝） | / |
| 是否適用真空 | 是 | |
| 其它 | ||
| 控制類型 | 開環/閉環 | / |
| 驅動電壓上限 | 125 | V |
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